各有关单位：

　　为推动我国集成电路制造产业的发展，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”根据实施方案和“十二五”实施计划，在全国公开发布2011年项目申报指南。通过竞争择优方式选择优势单位。

　　一、申请资格与要求详见附件

　　项目申请受理的截止日期为2010年5月24日

　　二、咨询方式

　　联系电话：（010）51530051

　　传真：（010）51530052

　　联系人：张国铭 高华东

　　三、指南内容

　　国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”2011年项目指南（附件一）

　　02专项实施管理办公室
二○一○年五月五日