姚薇代表：

　　您提出的"关于促进新型相变存储技术发展的建议"的代表建议收悉，经研究，现将办理情况答复如下：

　　集成电路产业作为新一代信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展、保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。近年来，上海把加快发展集成电路产业作为建设具有全球影响力科技创新中心的重要支撑点，在强化科技创新策源上下功夫，全面实施集成电路"上海方案"，聚力创新链与产业链深度融合创新，为上海产业高质量发展提供有力支撑。

　　一、相关工作情况

　　相变存储器（PCRAM）具有读写速度快、循环寿命长、器件尺寸小、功耗低以及完美兼容28纳米及以下节点集成电路工艺等优点，被认为是下一代非挥发存储技术的最佳解决方案之一，是集成电路产业链的核心芯片之一，我委长期关注并持续支持。一是持续支持PCRAM前瞻研究和关键技术攻关。2011-2019年，市科委先后支持中科院上海微系统所、同济大学等研究机构和中芯国际等企业相关项目10项，包括存储器模型与可微缩性、高速高可靠读取等关键技术研究、存储器纳米制造技术市重点实验室、存储器制备与测试专业技术服务平台等，突破了存储器建模、高速读取电路、高可靠性芯片制备与测试等关键技术。

　　二是开展PCRAM工程化研发。在国家科技重大专项支持下，支持中科院上海微系统所与中芯国际，联合开发45纳米PCRAM工程化关键技术与应用。中央财政资金和地方配套资金各8974.41万元，研发了130纳米、110纳米以及40纳米PCRAM关键工艺技术，实现了相变存储器芯片产业化批量生产，并为其28纳米及更先进工艺技术节点的集成研发提供了技术基础。

　　二、下一步工作考虑

　　一是持续布局新型PCRAM关键工艺平台完善和技术攻关。一方面，在前期市科委和国家专项成果基础上，支持本市优势单位完善28纳米以下PCRAM研发制造平台，突破与标准CMOS生产线对接的工艺，采用自主相变材料，解决热稳定性与成品率问题，实现大容量PCRAM芯片，继续支持本市相关优势单位发展三维高密度PCRAM、嵌入式PCRAM等非挥发性存储芯片技术；另一方面，聚焦高性能新型存储材料、高稳定器件结构、高可靠工艺与电路设计等核心问题，开展基于材料基因组技术的新型存储材料体系研发。

　　二是加快推动PCRAM产业化。鼓励和支持本市研究机构和企业，加强用户对接和市场化投融资，进一步发挥企业的创新主体作用，加速PCRAM存储器的市场化、产业化。

　　感谢您对本市科技工作的关心与支持！

　　上海市科学技术委员会

　　2020年8月24日